CYCO-30氧气纯化装置

      微电子高纯氧气纯化设备半导体半自动氧气纯化机本装置以工业普氧为原料气，经催化冷却，二级吸附，精密过滤的方法除去氧中微量杂质氢，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，水汽和尘埃获得高纯度的氧气。

  微电子高纯氧气纯化设备半导体半自动氧气纯化机本产品结构简单，系统气密性良好，所用催化剂（可视原料气的杂质含量来调整工作温度）可长期使用无需再生，二级双塔并联结构的干燥器延长了干燥器再生时间，再生设定周期168小时，节能高效，*大限度的保证了纯气的品质，高效吸附剂可在产品内再生后重复使用。适用于需要大量高纯氧气半导体、光纤、显像管等主要生产部门。

一．技术指标

1. 原料气：液氧

2. 处理气量     30Nm3/h

3. 工作压力     0.4-0.8Mpa

4. 原料氧的纯度：＞ 99.7%

5. 纯化后：     CH4＜0.3ppm     CO2＜0.5ppm   

    H2O＜1.8ppm   尘埃 颗粒≤3.5粒/升（100级）

6. 装机功率：   380V     10KW

二、装置组成                                          

        1. 反应器              1台                 

        2，冷却器              1台

        3. 干燥器              4台                            

        4. 精密过滤器          1台                                  全自动氧气纯化外形图

        5. 卫生级球阀，卫生级快装接头

           宝得气动阀门，电磁阀（自动选配）                      

            6、配套仪器仪表                    

            7、一体化机箱                               

            8，再生冷却器          

            9，304BA管路及流量计等配件

            10，西门子，施耐德电器及控制元件   

        11，触摸屏             西门子（选配）

        12，PLC                西门子(选配